檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "黃柏仁".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="陣列式結構"
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本論文主要是探討製作不同間距之陣列式奈米鑽石薄膜元件於場發射特性之影響以及不同壓力在氮氣氣體感測特性之影響。本研究中係使用微波電漿化學氣相沉積系統將奈米鑽石薄膜沉積於矽基材上,藉由場發射電子顯微鏡觀…